2023-05-07 16:50:18 来源：界面新闻
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和远气体5月7日公告，近日，公司取得了1项发明专利，该发明专利“一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置”是一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置。该装置系统保障了单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气的质量。
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